在線X光檢測(cè)中，從MFX的焦點(diǎn)射出的X射線通過(guò)樣品，之后由X射線相機(jī)等探測(cè)器進(jìn)行成像。由于X射線對(duì)于樣品內(nèi)不同結(jié)構(gòu)、材料穿透能力的不同，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)就可以被X射線相機(jī)所采集并在電腦上呈現(xiàn)。

根據(jù)密封方式的不一樣，MFX分為開(kāi)放管和封閉管兩種。封閉管MFX中，陰極與陽(yáng)極/靶都封閉在真空管內(nèi)；使用時(shí)無(wú)需抽真空，無(wú)需維護(hù)，但也無(wú)法更換陰極和陽(yáng)極/靶。開(kāi)放管MFX則帶有真空泵、真空閥，像排氣設(shè)備一樣。陰極和陽(yáng)極/靶都可以更換。

相對(duì)封閉管MFX，開(kāi)放管MFX的焦點(diǎn)尺寸和FOD都普遍較小，但是需要維護(hù)且造價(jià)高昂。工業(yè)無(wú)損檢測(cè)上目前均使用封閉管MFX；只有在對(duì)成像效果要求更苛刻的科研X射線成像中才會(huì)采用更加昂貴的開(kāi)放管MFX。

在X射線源中，電子轟擊靶材料產(chǎn)生X射線的原理有兩種：

1）當(dāng)高速電子與靶原子發(fā)生碰撞時(shí)，會(huì)改變其原有的軌跡，并且慢下來(lái)。同時(shí)發(fā)出X射線，其能量等于高速電子碰撞前后的能量差。

由于每個(gè)高速電子與靶原子作用時(shí)的相對(duì)位置不同，所以各相互作用對(duì)應(yīng)的輻射損失也不同，因而發(fā)出的X 射線光子的能量也互不相同。大量的X 射線光子組成了具有頻率連續(xù)的X 射線發(fā)射譜——就像各種顏色的單色光混合而成白光一樣——所以，這種原理所產(chǎn)生X射線稱為白色X射線（也稱連續(xù)譜）。

2）高速電子將靶原子的內(nèi)層軌道電子撞出，使之離開(kāi)原子成為自由電子，便會(huì)在內(nèi)層軌道產(chǎn)生一個(gè)臨時(shí)的電子空位，外層的電子就會(huì)立即將這個(gè)內(nèi)層軌道空位填充。軌道電子從外層向內(nèi)層躍遷的同時(shí)會(huì)發(fā)出X射線，其能量就等于這兩個(gè)軌道能級(jí)之差。

由于靶原子的各軌道電子能級(jí)是確定的，所以產(chǎn)生的X射線能量也是固定的，并且僅取決于靶原子本身的特征；所以，通過(guò)這種原理產(chǎn)生的X射線也稱為標(biāo)識(shí)X射線（也稱標(biāo)識(shí)譜）。

任何一種靶材料都會(huì)同時(shí)產(chǎn)生白色X射線和標(biāo)識(shí)X射線。在無(wú)損檢測(cè)應(yīng)用中，樣品本身各種材質(zhì)都有，所以一般會(huì)選擇產(chǎn)生白色X射線較多的鎢靶。而在用于分析物質(zhì)成份的X射線熒光分析應(yīng)用中，則更多會(huì)選擇比較容易產(chǎn)生標(biāo)識(shí)X射線的鉬靶。

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